2 高精度滤油机—是一种预过滤并为系统注油及净化系统油液的设备
9 滤筒除尘器—安装方式分分为斜插式,侧装式,吊装式,上装式
10 自洁式空气过滤器—有效过滤掉生产过程排放的含有细小的污染物质
11 袋式除尘器—应用于冶金,铸造,矿山采掘,化工,水泥建材等
1 自洁式空气过滤器—适用于空压站,制氧站,空调送风系统,燃气轮机等
2 大流量滤芯—大直径设计,增加纳污量,延长使用寿命,降低生产成本
4 烛式过滤器—高效节能,密闭高精,维护简便,安全可靠等特点
6 天然气滤芯—应用于天然气 ,人工煤气及其他非腐蚀性气体等
10 LYC系列高精度滤油机—过滤新油,液压润滑系统工作时的旁路过滤等
13 滤筒除尘器—安装方式分分为斜插式,侧装式,吊装式,上装式
3 金属粉末滤芯—采用具有较高机械强度及整体钢性的新型过滤材料
4 制冷过滤器滤芯—用以滤除较大的杂质,保护油泵,延长滤芯使用寿命
5 吸油过滤器—安装方便,油通能力大,阻力小,更换滤芯方便等优点
7 压力管路过滤器—应用于重型机械,矿山机械,冶金机械等液压系统
8 大流量滤芯—大直径设计,增加纳污量,延长使用寿命,降低生产成本
10 PP微孔折叠滤芯—应用于电力,反渗透前级,石化,精细化工等领域
11 凝结水滤元—一般应用于电厂凝结水处理系统,过滤器内部安装滤元
江苏某半导体芯片制造车间粉尘治理项目案例
【项目背景】
江苏某半导体芯片制造企业8英寸晶圆生产线,在晶圆切割、化学机械抛光(CMP)及光刻胶去除工序中产生大量亚微米级硅粉尘(粒径0.1-1μm)及微量有机废气。原采用传统布袋除尘+FFU(风机过滤单元)组合系统,存在以下问题:
除尘效率不足,洁净室悬浮粒子浓度波动(ISO Class 6标准下偶发超标);
布袋除尘器体积大、更换频繁,影响生产线空间布局及连续生产;
粉尘残留导致设备故障率升高,晶圆良品率下降至92%。
【项目名称】江苏某半导体芯片制造项目
【项目地点】江苏省江苏市
【项目所属行业】半导体行业
【项目建设性质】采用高效纳米纤维覆膜滤筒除尘器替代布袋除尘系统,结合智能压差控制,实现粉尘超低排放与洁净室动态稳定性控制
【主要设备】1台滤筒除尘器
指标 | 原系统数据 | 改造后要求 | 实测结果 |
---|---|---|---|
入口粉尘浓度(mg/m³) | 50-80 | ≤100 | 60-90 |
出口粉尘浓度(mg/m³) | 3-5 | ≤1 | ≤0.8 |
过滤效率(≥0.3μm) | 99.5% | ≥99.99% | 99.992% |
处理风量(m³/h) | 45,000 | ≥50,000 | 52,000 |
设备阻力(Pa) | 800-1200 | ≤600 | 450-550 |
过滤风速(m/min) | 1.2 | ≤0.8 | 0.75 |
噪声(dB(A)) | ≤85 | ≤75 | ≤72 |
核心设备
纳米纤维覆膜滤筒除尘器:
型号:FTC-6000,模块化设计,6个独立单元;
滤筒材质:PTFE覆膜聚酯纤维,表面防静电处理(表面电阻≤10⁹Ω);
过滤精度:0.1μm,初始效率≥99.99%;
清灰方式:脉冲反吹(0.5MPa洁净压缩空气),清灰间隔≥4h。
辅助系统
超低泄漏结构设计:
箱体采用304不锈钢焊接,密封条为氟橡胶,泄漏率≤0.01%;
灰斗倾角≥70°,配置振动器防止粉尘板结。
智能控制系统:
集成压差传感器(量程0-1500Pa)、粒子计数器(0.1-5μm);
PLC自动调节风机频率,维持洁净室正压(10-30Pa);
异常数据(如压差骤升、粒子超标)触发声光报警并联动FFU系统。
尾气处理单元:
后端串联活性炭吸附装置(碘值≥1000mg/g),处理有机废气(VOCs≤5mg/m³)。
特殊要求
洁净兼容性:
滤筒安装前需经IPA擦拭,确保无粒子释放;
设备出厂前通过ISO 14644-1洁净度测试。
防爆设计:
除尘器本体配置泄爆片(爆破压力0.02MPa);
所有电气元件符合ATEX Zone 22防爆认证。
生产环境优化
洁净室悬浮粒子浓度稳定在ISO Class 5标准内(0.5μm粒子≤2,800个/m³),工艺良品率提升至98.5%;
设备故障率下降70%,年减少停机损失约600万元。
运行效能
滤筒寿命延长至24个月(原布袋6个月),年维护成本降低55%;
系统能耗下降30%,年节电约150万度(折合电费90万元)。
环保合规
粉尘排放浓度≤0.8mg/m³,VOCs≤3mg/m³,满足《半导体行业污染物排放标准》(GB 39728-2020);
获评“国家级绿色工厂”,并获地方环保补贴200万元。
本项目通过高精度滤筒除尘技术与洁净室动态控制系统的深度耦合,攻克了半导体行业亚微米粉尘治理难题,实现了生产效能的全面提升,为集成电路、光伏等高端制造领域的粉尘控制提供了标杆性解决方案。
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